1998年,清华大学范守善小组成功地制备出直径为3～50nm,长度达微米量级的氧话稼半导体一维纳米棒,是我国在国际上首次把氧化稼制备成一维纳米晶体.50nm=（ ）mm=（ ）m.目前世界上最先进的微电子器件芯片中的线宽已降到0.13微米,

1998年,清华大学范守善小组成功地制备出直径为3～50nm,长度达微米量级的氧话稼半导体一维纳米棒,是我国在国际上首次把氧化稼制备成一维纳米晶体.50nm=（ ）mm=（ ）m.目前世界上最先进的微电子器件芯片中的线宽已降到0.13微米,即（ ）nm,合（ ）m.